• 专利附录
  • 专利说明
  • 权利要求
  • 类似技术
  • 同族专利
  • 引用文献
  • 法律状态
  • 优先权
    • 专利摘要:
    本实用新型公开了一种应用于玻璃光罩的夹具，包括基板，该基板具有第一表面，第一表面上间隔开设有多个定位槽，各定位槽分别用于放置待曝光的玻璃光罩，玻璃光罩放置于定位槽中时，玻璃光罩的待曝光表面与第一表面齐平，从而一方面可以将多个玻璃光罩同时被固定在一块夹具上，另一方面可以令每一块固定在夹具上的玻璃光罩的待曝光表面均与夹具的第一表面齐平，从而避免光刻机在曝光过程中因检测到镜头与待曝光面之间的距离不正常而自动死机，有利于实现玻璃光罩的批量曝光，以提高玻璃光罩的生产效率，从而降低玻璃光罩的生产成本。另外，本实用新型还公开了一种具有该应用于玻璃光罩的夹具的光刻系统。
    公开号:CN214335464U
    申请号:CN202120218869.9U
    申请日:2021-01-26
    公开日:2021-10-01
    发明作者:王明波
    申请人:Guangzhou Shiyuan Optoelectronics Co ltd；
    IPC主号:G03F7-20
    专利说明:
    [n0001] 本实用新型涉及夹具技术领域，尤其涉及一种应用于玻璃光罩的夹具及光刻系统。
    [n0002] 在玻璃光罩的生产过程中，由于玻璃光罩成品对精度的要求较高，所以曝光镜头对距离曝光表面的要求和检测都较严格。在同时对复数个玻璃光罩进行曝光时，在镜头从一个玻璃光罩的上方移动到另一个玻璃光罩的上方的过程中，因为两个玻璃光罩间的间隙，而导致光刻机检测到镜头与曝光表面间的距离不正常，从而令光刻机自动终止曝光程序并死机以自我保护。所以，目前行业内往往采用一次只在机床上安装一块玻璃光罩原料(如匀胶铬板)，令一个光刻系统一次曝光程序的运行过程中，只对一块玻璃光罩原料进行曝光的方式来完成玻璃光罩的曝光工序。当生产的玻璃光罩规格较小时，使用这种方式进行曝光十分的繁琐耗时。
    [n0003] 本实用新型实施例公开了一种应用于玻璃光罩的夹具及光刻系统，有利于实现玻璃光罩的批量曝光。
    [n0004] 为了实现上述目的，第一方面，本实用新型公开了一种应用于玻璃光罩的夹具，包括：
    [n0005] 基板，所述基板具有第一表面，所述第一表面上间隔开设有多个定位槽，各所述定位槽分别用于放置待曝光的玻璃光罩，所述玻璃光罩放置于所述定位槽中时，所述玻璃光罩的待曝光表面与所述第一表面齐平。
    [n0006] 作为一种可选的实施方式，在本实用新型第一方面的实施例中，所述基板还设有连通于所述定位槽的空气通道，所述玻璃光罩放置于所述定位槽中时，所述空气通道用于连接抽真空设备以将所述玻璃光罩的底部与所述定位槽之间的空气抽除，以使所述玻璃光罩固定于所述定位槽。
    [n0007] 作为一种可选的实施方式，在本实用新型第一方面的实施例中，所述空气通道具有一个主通道与多个支通道，所述主通道的一端用于连接抽真空设备，所述主通道的另一端用于连通于多个所述支通道的一端，每一个所述支通道的另一端对应连通于一个所述定位槽。
    [n0008] 作为一种可选的实施方式，在本实用新型第一方面的实施例中，所述基板上开设有多个第一开口，每一个所述第一开口位于对应的所述定位槽的底面，所述第一开口的宽度d满足：0.1mm≤d≤0.4mm；
    [n0009] 所述基板的侧面上还开设有第二开口，所述第二开口用于连接于抽真空设备，所述空气通道与所述第二开口以及多个所述第一开口连通。
    [n0010] 作为一种可选的实施方式，在本实用新型第一方面的实施例中，所述第一开口包括环形开口或X形开口中的至少一种。
    [n0011] 作为一种可选的实施方式，在本实用新型第一方面的实施例中，所述基板包括第一板与第二板，所述第一板叠设于所述第二板上，所述第一板具有所述第一表面，所述定位槽开设在所述第一板上，所述第二板上设有所述空气通道。
    [n0012] 作为一种可选的实施方式，在本实用新型第一方面的实施例中，所述定位槽的侧壁面垂直于所述第一表面，所述定位槽的底面平行于所述第一表面。
    [n0013] 作为一种可选的实施方式，在本实用新型第一方面的实施例中，所述夹具还包括定位部件，所述定位部件设于所述基板的外周，所述定位部至少具有两个相垂直的定位面，两个所述定位面垂直于所述第一表面。
    [n0014] 第二方面，本实用新型还公开了一种光刻系统，包括：
    [n0015] 光刻机，所述光刻机包括工作台以及设于所述工作台上的镜头；以及
    [n0016] 如上第一方面所述的应用于玻璃光罩的夹具，所述夹具放置于所述工作台上，所述镜头位于所述夹具上方，所述镜头用于对放置于所述夹具上的所述玻璃光罩进行曝光。
    [n0017] 作为一种可选的实施方式，在本实用新型第二方面的实施例中，所述光刻机还包括设置在所述工作台上的限位件，所述限位件用于限制所述夹具在所述工作台上的位置。
    [n0018] 与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：
    [n0019] 本实用新型实施例提供的应用于玻璃光罩的夹具及光刻系统，通过在基板上开设多个定位槽，以使多个玻璃光罩可以同时被固定在一块夹具上，并且令每一块固定在夹具上的玻璃光罩的待曝光表面均与夹具的第一表面齐平，从而避免光刻机在曝光过程中因检测到镜头与曝光面之间的距离不正常而自动死机的情况，有利于实现玻璃光罩的批量加工，提高玻璃光罩的生产效率，从而降低玻璃光罩的生产成本。
    [n0020] 为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
    [n0021] 图1是本实用新型实施例一公开的夹具(外接抽真空设备)的结构示意图；
    [n0022] 图2是本实用新型实施例一公开的一种夹具(放置有玻璃光罩)的一种视角下的局部剖视图；
    [n0023] 图3是本实用新型实施例一公开的另一种夹具(放置有玻璃光罩)另一种视角下的局部剖视图；
    [n0024] 图4是本实用新型实施例一公开的夹具的剖视图；
    [n0025] 图5是本实用新型实施例一公开的夹具的结构示意图；
    [n0026] 图6是本实用新型实施例一公开的夹具的结构分解示意图；
    [n0027] 图7是本实用新型实施例二公开的光刻系统的结构示意图。
    [n0028] 图标：1、夹具；10、基板；100、第一表面；101、定位槽；101a、台阶面；102、空气通道；102a、主通道；102b、支通道；103、第一开口；104、第二开口；105、第一板；106、第二板；107、避让槽；11、定位部件；110、定位面；2、玻璃光罩；3、抽真空设备；4、光刻系统；40、光刻机；400、工作台；401、镜头；402、限位件。
    [n0029] 下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
    [n0030] 在本实用新型中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“中”、“竖直”、“水平”、“横向”、“纵向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系。这些术语主要是为了更好地描述本实用新型及其实施例，并非用于限定所指示的装置、元件或组成部分必须具有特定方位，或以特定方位进行构造和操作。
    [n0031] 并且，上述部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外，还可能用于表示其他含义，例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解这些术语在本实用新型中的具体含义。
    [n0032] 此外，术语“安装”、“设置”、“设有”、“连接”、“相连”应做广义理解。例如，可以是固定连接，可拆卸连接，或整体式构造；可以是机械连接，或电连接；可以是直接相连，或者是通过中间媒介间接相连，又或者是两个装置、元件或组成部分之间内部的连通。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
    [n0033] 此外，术语“第一”、“第二”等主要是用于区分不同的装置、元件或组成部分(具体的种类和构造可能相同也可能不同)，并非用于表明或暗示所指示装置、元件或组成部分的相对重要性和数量。除非另有说明，“多个”的含义为两个或两个以上。
    [n0034] 实施例一
    [n0035] 玻璃光罩是以石英玻璃板为衬底，其上具有形成为电路图形的金属铬层的板。在集成电路的生产过程中，玻璃光罩作为类似曝光后的底片，用于对集成电路进行投影定位，通过集成电路光刻机对玻璃光罩所投影出的电路进行光蚀刻。
    [n0036] 在玻璃光罩的生产过程中，需要对玻璃光罩的生产原料(如匀胶铬板)通过光刻机进行曝光，即，需要对匀胶铬板具有的光刻胶层进行光刻曝光，以将电路图形转移至匀胶铬板上。
    [n0037] 相关技术中，在玻璃光罩的曝光工序中，由于玻璃光罩成品对精度的要求较高，所以曝光镜头对距离曝光表面的要求和检测都较严格。为了避免在曝光镜头从一个玻璃光罩的上方移动到另一个玻璃光罩的上方的过程中，因为两个玻璃光罩间的间隙的高度落差，导致光刻机检测到镜头与曝光表面间的距离不正常，从而令光刻机自动终止曝光程序并死机以自我保护，目前行业内往往采用一次只在机床上安装一块匀胶铬板，令一个光刻系统在一次曝光程序的运行过程中，只对一块匀胶铬板进行曝光的方式，来完成玻璃光罩的曝光工序。
    [n0038] 为了实现对玻璃光罩的批量化生产，本实用新型实施例公开了一种夹具，该夹具可应用于玻璃光罩，以实现对玻璃光罩的夹持、固定。具体地，本实用新型公开的夹具实际为用于固定玻璃光罩的生产原料以进行曝光工序的夹具。为了便于说明，本实施例中将玻璃光罩的生产原料称为玻璃光罩，即本实施例中的玻璃光罩包括玻璃光罩在生产过程中的任一阶段的形态，而并不仅局限于玻璃光罩的成品。
    [n0039] 以下将结合附图说明应用于玻璃光罩的夹具的具体结构和应用原理。
    [n0040] 请参阅图1与图2，图1是本实用新型实施例一公开的夹具1(外接抽真空设备3)的结构示意图，图2是本实用新型实施例一公开的一种夹具1(放置有玻璃光罩2)的一种视角下的局部剖视图。具体地，该夹具1包括基板10，该基板10具有第一表面100，第一表面100上间隔开设有多个定位槽101，各个定位槽101分别用于放置待曝光的玻璃光罩2，玻璃光罩2放置于定位槽101中时，玻璃光罩2的待曝光表面与第一表面100齐平，从而一方面可以将多个玻璃光罩2同时被固定在一块夹具1上，另一方面可以令每一块固定在夹具1上的玻璃光罩2的待曝光表面均与夹具1的第一表面100齐平，从而避免光刻机在曝光过程中因检测到镜头与待曝光面之间的距离不正常而自动死机的情况，有利于实现玻璃光罩2的批量曝光，提高玻璃光罩2的生产效率，从而降低玻璃光罩2的生产成本。
    [n0041] 一些实施方式中，定位槽101的侧壁面垂直于第一表面100，从而可以通过定位槽101的侧壁面限制玻璃光罩2的侧面的垂直度。
    [n0042] 如图2所示，一种可选地实施方式中，玻璃光罩2放置于定位槽101内时，玻璃光罩2的非曝光面可贴合于定位槽101的底面，定位槽101的底面可平行于第一表面100，从而可以通过定位槽101的底面来保证玻璃光罩2的曝光面平行于第一表面100。
    [n0043] 请结合图3所示，另一种可选地实施方式中，定位槽101可为台阶槽，其具有一个平行于第一表面100且位于第一表面100与定位槽101的底面之间的台阶面101a，玻璃光罩2放置于定位槽101内时，玻璃光罩2的边缘贴合于台阶面101a。从而一方面可通过台阶面101a来保证玻璃光罩2的曝光面平行于第一表面100，另一方面可通过减少玻璃光罩2与定位槽101的接触面积，以降低当玻璃光罩2相对定位槽101发生位移时，定位槽101的槽壁对玻璃光罩2的表面产生磨损的可能性，从而提升玻璃光罩2的成品良率。
    [n0044] 一些实施例中，定位槽101的形状可适配于玻璃光罩2的形状，例如，由于玻璃光罩2多为方形板状或者圆形板状，因此，该定位槽101可设置为方形槽或圆形槽，且定位槽101的槽深大致与玻璃光罩2的厚度一致，定位槽101的宽度、长度大致与玻璃光罩2的宽度、长度一致，或者，该定位槽101可设置为圆形槽，且定位槽101的槽深大致与玻璃光罩2的厚度一致，定位槽101的直径大致与玻璃光罩2的直径一致。从而一方面，通过令定位槽101的深度适配于玻璃光罩2的厚度，可以使玻璃光罩2放置于定位槽101内时，玻璃光罩2的待曝光表面齐平于第一表面100。另一方面，通过令定位槽101的长度、宽度适配于玻璃光罩2的长度与宽度，可以减小玻璃光罩2放置于定位槽101内时，玻璃光罩2的边缘与定位槽101的槽壁间的距离，从而在光刻机的曝光镜头从固定于夹具1上的多个玻璃光罩2上方移动时，使光刻机难以检测到玻璃光罩2与定位槽101之间的间隙，以避免光刻机检测到异常而自动死机。
    [n0045] 可选地，为了使光刻机难以检测到玻璃光罩2与定位槽101之间的间隙，玻璃光罩2放置于定位槽101内时，定位槽101的槽壁与玻璃光罩2的边缘之间的间隙的宽度b可满足：b≤0.02mm。例如，间隙的宽度b可为：0.001mm、0.002mm、0.003mm、0.004mm、0.005mm、0.006mm、0.007mm、0.008mm、0.009mm、0.01mm、0.011mm、0.012mm、0.013mm、0.014mm、0.015mm、0.016mm、0.017mm、0.018mm、0.019mm或0.02mm等。
    [n0046] 可以理解的是，多个定位槽101的形状可相同也可不同，只要一个定位槽101的形状可以适配于一种尺寸的玻璃光罩2即可，各个定位槽101的形状之间不存在必要的联系。
    [n0047] 一些实施方式中，多个定位槽101可成环状、成单排或多排间隔分布于基板10上，当各个定位槽101的大小不一时，多个定位槽101也可相错落地分布于基板10上。可以理解的是，只要多个定位槽101可以间隔分布于基板10上即可，对于定位槽101的分布方式，本实施例不做具体限定。
    [n0048] 本实施例以定位槽101为四个，四个定位槽101成两排间隔分布于基板10上为例进行说明。
    [n0049] 一些实施方式中，第一表面100上还可开设有多个避让槽107，该多个避让槽107位于对应的定位槽101的一角并连通于对应的定位槽101，从而为玻璃光罩2放置或取出于定位槽101时提供玻璃光罩2的夹持空间。
    [n0050] 可选地，避让槽107为四个，四个避让槽107分别位于对应的一个定位槽101的远离其他定位槽101的一角，从而使避让槽107位于玻璃光罩2进行曝光时，第一表面100上的被曝光区域之外，以避免光刻机的镜头移动到避让槽107的上方，而导致光刻机因检测到被曝光物面的距离异常而自动死机。
    [n0051] 请结合图1和图4所示，一些实施方式中，基板10还设有连通于定位槽101的空气通道102，玻璃光罩2放置于定位槽101中时，空气通道102用于连接抽真空设备3以将玻璃光罩2的底部与定位槽101之间的空气抽除，以使玻璃光罩2固定于定位槽101，一方面，可以不在第一表面100上设置夹持结构以保证第一表面100的平整度的同时，将放置于定位槽101的玻璃光罩2固定至定位槽101内，另一方面，相比其他机械定位装置，可以最大化确保工作环境洁净度，减少颗粒污染风险。
    [n0052] 可选地，空气通道102具有一个主通道102a与多个支通道102b，主通道102a的一端用于连接抽真空设备3，主通道102a的另一端用于连通于多个支通道102b的一端，每一个支通道102b的另一端对应连通于一个定位槽101，从而可以通过在主通道102a的一端设置一个抽真空设备3来对放置于每一个定位槽101内的玻璃光罩2进行吸附固定。
    [n0053] 可选地，主通道102a与支通道102b可分别为直线形、弧形或直线形与弧形相结合的形状的通道。可以理解的是，只要主通道102a与支通道102b可以分布于基板10内，且除主通道102a的另一端与每一条支通道102b的一端以外，各通道之间均不相连同即可，对于主通道102a和支通道102b的形状，本实施例不作具体限定。
    [n0054] 优选地，每一条支通道102b的长度可均相同，从而可以保证每一条支通道102b内的空气体积大致相等，以使每一个定位槽101内的玻璃光罩2受到的真空吸附力大致相等。
    [n0055] 更优选地，每一条支通道102b的形状可大致相同，从而可以保证每一条支通道102b内的气流均大致相同，以进一步的保证每一个定位槽101内的玻璃光罩2受到的真空吸附力相等。
    [n0056] 示例性的，定位槽101为四个时，支通道102b也为四条，四条支通道102b均为直线形通道。
    [n0057] 请一并参阅图2、图4与图5，一些实施方式中，基板10上开设有多个第一开口103，每一个第一开口103位于对应的定位槽101的底面，第一开口103的宽度d满足：0.1mm≤d≤0.4mm，空气通道102与多个第一开口103连通，即，第一开口103呈狭缝状，以使玻璃光罩2与第一开口103之间更易形成真空空间，从而使玻璃光罩2易于被吸附固定于定位槽101内。举例而言，第一开口103的宽度d可为：0.13mm、0.14mm、0.15mm、0.16mm、0.17mm、0.18mm、0.19mm、0.20mm、0.21mm、0.22mm、0.23mm、0.24mm、0.25mm、0.26mm、0.27mm、0.28mm、0.29mm、0.30mm、0.31mm、0.32mm、0.33mm、0.34mm、0.35mm、0.36mm、0.37mm、0.38mm、0.39mm或0.40mm等。
    [n0058] 可以理解的，每一个第一开口103对应一条上述的支通道102b，并连通于支通道102b的另一端，从而可以通过空气通道102连接抽真空设备以将玻璃光罩2的底部与定位槽101之间的空气抽除，从而实现对位于定位槽101内的玻璃光罩2进行吸附固定的功能。
    [n0059] 一些实施方式中，第一开口103包括环形开口或X形开口中的至少一种，从而通过增加第一开口103所圈定的范围，来增加对玻璃光罩2的吸附作用的稳固性，减少玻璃光罩2在定位槽101内时发生相对定位槽101的位移的可能性。
    [n0060] 可选地，第一开口103可为环形与X形结合的形状的开口，从而通过在第一开口103所圈定的范围内增加有效吸附面积，以增加对玻璃光罩2的吸附作用的稳固性。
    [n0061] 一些实施方式中，基板10上还开设有第二开口104，第二开口104用于连接于抽真空设备，空气通道102与第二开口104连通，从而使抽真空设备能够对空气通道102内的空气进行抽除。
    [n0062] 可选地，第二开口104可通过管道连接于抽真空设备3的结构，管道可通过螺纹结构、过盈配合结构等连接结构密封连接于第二开口104，从而保证空气通道102与抽真空设备之间的气密性，以保证抽真空设备对空气通道102内的空气的抽除效果。
    [n0063] 可选地，第二开口104可开设于基板10的侧面、第一表面100或者底面。优选地，第二开口104开设于基板10的侧面，从而
    [n0064] 一些实施方式中，夹具1还包括定位部件11，定位部件11设于基板10的外周，定位部件11至少具有两个相垂直的定位面110，两个定位面110垂直于第一表面100，从而可以通过两个定位面110贴合于光刻机上的限位结构，以确保定位槽101的侧壁面与光刻机上的放置面的垂直度，以及保证夹具1与光刻机的相对位置关系。示例性的，定位部件11为突设于夹具1的一角的外表面上的L型定位尺结构，定位面110为该定位部件11背离夹具1的外表面的两个相垂直的侧面。
    [n0065] 可选地，定位部件11可一体成形于基板10的外周，从而易于保证定位面110与基板10之间的相对位置精度。
    [n0066] 请结合图6所示，一种可选的实施方式中，基板10包括第一板105与第二板106，第一板105叠设于第二板106上，第一板105具有第一表面100，定位槽101开设在第一板105上，第二板106上设有空气通道102，从而可以简化夹具1的生产工艺，降低夹具1的生产成本。
    [n0067] 可选地，第一板105与第二板106可通过胶粘、螺纹结构、焊接或其他方式固定相连接，从而使第一板105与第二板106之间的相对位置关系稳定，以保证夹具1的精度。
    [n0068] 可选地，上述定位部件11可一体成型于第一板105上，从而易于保证定位面110与定位槽101之间的相对位置关系的精度。
    [n0069] 另一种可选的实施方式中，基板1可为一体成型，从而易于保证夹具1的精度。
    [n0070] 可选地，基板1可由聚四氟乙烯、氟化乙烯丙烯共聚物或PFA等耐磨损性好、表面摩擦系数低且灰尘杂质的吸附力低的材料制成，从而一方面，可以减少玻璃光罩2放置于夹具1上时，由于玻璃光罩2相对夹具1发生位移而导致夹具1对玻璃光罩2的表面产生磨损的可能性，另一方面，使夹具1易于保持夹具1表面的洁净度较高，从而不影响玻璃光罩2表面的洁净度。其中，PFA为少量全氟丙基全氟乙烯基醚与聚四氟乙烯的共聚物的英文简称。
    [n0071] 以下对本实施例的夹具1的使用过程简单描述：
    [n0072] 当用户需要使用本实施例公开的应用于玻璃光罩2的夹具1来同时对多块玻璃光罩2进行曝光工序时，需先确认抽真空设备3为关闭状态，然后将玻璃光罩2放置于定位槽101中。在将所有玻璃光罩2都放置于定位槽101内后，将抽真空设备3打开，从而将多块玻璃光罩2固定于定位槽101内，便完成了玻璃光罩2在夹具1上的放置与固定步骤。
    [n0073] 当玻璃光罩2的曝光工序结束后，需要将玻璃光罩2从夹具1上取下时，应先将抽真空设备3关闭，接着从避让槽107持住玻璃光罩2的边缘，将玻璃光罩2从夹具1上取下，便完成了玻璃光罩2的拆卸。
    [n0074] 通过使用本实施例公开的夹具1，可以同时将多个玻璃光罩2固定，并令每一块固定在夹具1上的玻璃光罩2的待曝光表面均与夹具1的第一表面100齐平，以实现玻璃光罩2的批量曝光，以提高玻璃光罩2的生产效率，从而降低玻璃光罩2的生产成本。
    [n0075] 实施例二
    [n0076] 请参阅图7，图7是本实用新型实施例二公开的光刻系统4的结构示意图。本实用新型实施例二公开了一种光刻系统4，包括：光刻机40和如上所述的应用于玻璃光罩的夹具1。光刻机40包括工作台400以及设于工作台400上的镜头401，夹具1放置于工作台400上，镜头401位于夹具1上方，镜头401用于对放置于夹具1上的玻璃光罩进行曝光，从而实现使用一台光刻机40，在镜头401进行一次曝光程序的过程中，对多块玻璃光罩进行曝光。
    [n0077] 一些实施方式中，光刻机40还包括设置在工作台400上的限位件402，限位件402用于限制夹具1在工作台400上的位置，以保持夹具1与工作台400间的相对位置，从而提升光刻机40对放置于夹具1上的玻璃光罩曝光过程的精度。
    [n0078] 可以理解的是，上述定位部件11的定位面110用于贴合于限位件402的表面，其中，该限位件402的表面垂直于工作台400的台面，从而保证第一表面100与工作台400的台面的平行度。
    [n0079] 如图7所示，示例性的，限位件402可为L形凸块，上述限位件402的表面为限位件402用于朝向夹具1的两个相互垂直的表面，该两个限位件402的表面用于分别贴合于两个定位面110。通过将限位件402设置为拥有两个相互垂直的表面的L形凸块，一方面，可以实现通过限位件402限制夹具1在工作台400上的位置的功能，另一方面，易于保证限位件402的两个表面之间的相对位置精度，即，在限位件402的生产过程中易于保证两个表面之间相垂直，以提高通过限位件402对定位部件11进行限位时，夹具1与工作台400之间的相对位置精度。
    [n0080] 通过本实施例公开的光刻系统4，可以同时对多个玻璃光罩进行曝光工序，从而提高光刻机40的利用效率，降低玻璃光罩的生产成本。
    [n0081] 以上对本实用新型实施例公开的玻璃光罩的夹具及光刻系统进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的玻璃光罩的夹具及光刻系统及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。
    权利要求:
    Claims (10)
    [0001] 1.一种应用于玻璃光罩的夹具，其特征在于，所述夹具包括：
    基板，所述基板具有第一表面，所述第一表面上间隔开设有多个定位槽，各所述定位槽分别用于放置待曝光的玻璃光罩，所述玻璃光罩放置于所述定位槽中时，所述玻璃光罩的待曝光表面与所述第一表面齐平。
    [0002] 2.根据权利要求1所述的应用于玻璃光罩的夹具，其特征在于，所述基板还设有连通于所述定位槽的空气通道，所述玻璃光罩放置于所述定位槽中时，所述空气通道用于连接抽真空设备以将所述玻璃光罩的底部与所述定位槽之间的空气抽除，以使所述玻璃光罩固定于所述定位槽。
    [0003] 3.根据权利要求2所述的应用于玻璃光罩的夹具，其特征在于，所述空气通道具有一个主通道与多个支通道，所述主通道的一端用于连接抽真空设备，所述主通道的另一端用于连通于多个所述支通道的一端，每一个所述支通道的另一端对应连通于一个所述定位槽。
    [0004] 4.根据权利要求2所述的应用于玻璃光罩的夹具，其特征在于，所述基板上开设有多个第一开口，每一个所述第一开口位于对应的所述定位槽的底面，所述第一开口的宽度d满足：0.1mm≤d≤0.4mm；
    所述基板的侧面上还开设有第二开口，所述第二开口用于连接于抽真空设备，所述空气通道与所述第二开口以及多个所述第一开口连通。
    [0005] 5.根据权利要求4所述的应用于玻璃光罩的夹具，其特征在于，所述第一开口包括环形开口或X形开口中的至少一种。
    [0006] 6.根据权利要求2-5任一所述的应用于玻璃光罩的夹具，其特征在于，所述基板包括第一板与第二板，所述第一板叠设于所述第二板上，所述第一板具有所述第一表面，所述定位槽开设在所述第一板上，所述第二板上设有所述空气通道。
    [0007] 7.根据权利要求2-5任一所述的应用于玻璃光罩的夹具，其特征在于，所述定位槽的侧壁面垂直于所述第一表面，所述定位槽的底面平行于所述第一表面。
    [0008] 8.根据权利要求2-5任一所述的应用于玻璃光罩的夹具，其特征在于，所述夹具还包括定位部件，所述定位部件设于所述基板的外周，所述定位部件至少具有两个相垂直的定位面，两个所述定位面垂直于所述第一表面。
    [0009] 9.一种光刻系统，其特征在于，包括：
    光刻机，所述光刻机包括工作台以及设于所述工作台上的镜头；
    如权利要求1-8任一所述的应用于玻璃光罩的夹具，所述夹具放置于所述工作台上，所述镜头位于所述夹具上方，所述镜头用于对放置于所述夹具上的所述玻璃光罩进行曝光。
    [0010] 10.根据权利要求9所述的光刻系统，其特征在于，所述光刻机还包括设置在所述工作台上的限位件，所述限位件用于限制所述夹具在所述工作台上的位置。
    类似技术:
    公开号 | 公开日 | 专利标题
    US4833051A|1989-05-23|Protective device for photographic masks
    JP4468893B2|2010-05-26|真空吸着ヘッド
    JP4286194B2|2009-06-24|ペリクルフレーム、および該フレームを用いたフォトリソグラフィー用ペリクル
    KR20180079270A|2018-07-10|홀더, 리소그래피 장치, 물품의 제조 방법 및 스테이지 장치
    JP6071425B2|2017-02-01|ステージ装置、リソグラフィ装置、および物品の製造方法
    CN214335464U|2021-10-01|应用于玻璃光罩的夹具及光刻系统
    KR102002582B1|2019-07-22|유지 장치, 리소그래피 장치, 및 물품 제조 방법
    KR102070074B1|2020-01-28|펠리클 프레임
    US20060272561A1|2006-12-07|Deposition apparatus
    US9740109B2|2017-08-22|Holding device, lithography apparatus, and method for manufacturing item
    US7931146B2|2011-04-26|Photomask case structure
    JP2011023425A|2011-02-03|ステージ装置、露光装置及びデバイス製造方法
    JPH06326174A|1994-11-25|ウェハ真空吸着装置
    US20100028813A1|2010-02-04|Backside cleaning of substrate
    JPH08143147A|1996-06-04|薄板状ワークの吸着装置
    JPH0831514B2|1996-03-27|基板の吸着装置
    TWI686666B|2020-03-01|基板容器
    JP2016213377A|2016-12-15|パージノズル
    CN108766926A|2018-11-06|晶圆吸盘及其工作方法
    JP2750554B2|1998-05-13|真空吸着装置
    TW200701305A|2007-01-01|A wafer dicting process for optical electronic packing
    JPH06325996A|1994-11-25|レティクルフレーム
    JP2008019490A|2008-01-31|パレット装置
    CN208336179U|2019-01-04|晶圆吸盘
    CN213780636U|2021-07-23|一种光罩转移器
    同族专利:
    公开号 | 公开日
    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    法律状态:
    2021-10-01| GR01| Patent grant|
    2021-10-01| GR01| Patent grant|
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
    CN202120218869.9U|CN214335464U|2021-01-26|2021-01-26|应用于玻璃光罩的夹具及光刻系统|CN202120218869.9U| CN214335464U|2021-01-26|2021-01-26|应用于玻璃光罩的夹具及光刻系统|
    [返回顶部]